氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

根據壓頭上自動連續增加的垂直載荷，測定劃透薄膜並使之從其基體上連續剝離所需要的最小載荷， 即薄膜–基體界麵附著失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續加載電機； B—聲發射探頭， 探測劃痕產生的聲發射強度並輸入微機； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣台； E—位移電機， 用以勻速沿水平方向拖動試樣台； F—切向摩擦力傳感器， 連續檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力並輸入微機； G—試樣台高度升降螺杆； H—加載壓力傳感器； I—光學顯微鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控製器； L—微型計算機（嵌入式工業電腦）， 用以實施測試自控和自動處理數據， 並動態顯示及存貯數據與圖形； M—試樣； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機， 輸出試驗結果； P—壓頭加載機構； Q—主支架。

執行標準：JB/T 8554-1997

技術參數

控製係統：PLC+Windows係統

操作界麵：彩色觸摸屏15寸，嵌入式工業電腦

樣品尺寸：長方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm， 高 6～20mm； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm；

樣品要求：試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h， 然後按規定步驟測試隻需很少的測試次數即可評價劃痕特性；

壓頭規格：按 GB/T 2848 規定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°， 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m範圍內)， 在不小於 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭， 確認其頂端是光滑潔淨的球麵， 方可使用。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置；

加載速率： 對硬質薄膜為(20～40)N/min；對非硬質薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精度： 0.03 N；

電機：伺服電機86型+驅動器;

運動模式：絲杆+導軌，精度0.001mm；

光學顯微鏡：50倍以上鏡片配置；

曲線圖：加載壓力，恒定壓力，摩擦力，垂直載荷關係圖，XY關係圖；

測試高度範圍：0-100mm；

測試模式：往複式運動，可單線運動，工業電腦觸摸屏上設置；

運動範圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm;

用電：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸約：1000mm*600*640mm；